|
2.
|
Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications / Tommi Kääriäinen, David Cameron, Marja-Leena Kääriäinen, and Arthur Sherman. by
- Kääriäinen, Tommi
- Cameron, David, 1949-
- Kääriäinen, Marja-Leena
- Sherman, Arthur, 1931-
Edition: 2nd edition.
Material type: Text; Format:
available online
; Literary form:
Not fiction
Publisher: Salem, Massachusetts : Hoboken, New Jersey : Scrivener Publishing, LLC ; Wiley, [2013]
Availability: No items available.
|